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AQS系列全自動清洗甩干機


  AQS系列全自動清洗甩干機是根據半導體產業和光伏產業的發展和市需求而研發的全自動清洗甩干設
備,具有高潔凈度旋轉清洗甩干功能。主要用于硅圓片、太陽能電池等類似材料的清洗甩干。是光伏、半導
體濕法清洗工藝中必不可少的主要設備之一。
  AQS系列機型針對不同用戶、不同工藝要求、不同應用場合開發了系列化機型。用戶可按自已的要求和不
同工藝選擇適合自已的機型型號和功能配置要求。
系統構成
  整機采用4、6或8工位式組合結構,適用于103mm,125mm, 156mm三種規格的硅片,實現包括旋轉清
洗甩干、氮氣烘干、腔體干燥、工作完成自動開門、工況顯示和故障報警在內的全自動工藝處理過程。
結構與特點
外觀新穎、簡潔、流暢。主要部件采用不能磁化的不銹鋼材料。

工作過程中,清洗工作腔與外界密封隔離。

工作腔、旋轉支架及載片架均采用耐腐蝕不銹鋼,表面經特殊嚴電化學處理;

旋轉機構經精密的動、靜平衡校驗,保證系統工作時的平衡性、減少振源的產生。

精密的動、靜平衡保證使得放硅片盒夾具與甩干機的位置無需一一對應,操作方便。

采用寬頻率的特種阻尼器,精密減震及阻尼。使系統具有良好的減震效果。

采用驅動電機,進口變頻器,提速平穩;采用磁力平衡制動,速度快,制動平均時間小于20秒。

特制噴頭和氣液流體控制系統,全自動切換控制。

管道、閥門、接頭采用304不銹鋼、聚四氟材料和高純管件。

采用氣缸實現自動開門手動關門,平穩安全可靠。

工作中采用防靜電控制。

頂蓋采用硅橡膠加熱板輔助加熱系統,保證頂蓋烘干后干燥不滴水。

控制系統
采用PLC可編程控制器及保色觸摸顯示屏.程序控制智能化。

程序設計可靠。速度調節,溫度調節,時間調節等每道程序指令用戶都可以在觸摸屏上任意設定、修改、保存。

運行過程、內容、信息(包括故障信息)在工作過程中均在觸摸顯示屏漢顯,操作人員對設備的工藝步驟、運行狀態一目了然。

采用電子變頻調速技術無級調速,速度提升變換穩定。

系統軟件具有故障實時顯示及報警功能。

所有電控元器件均采用國際國內品牌。

安全與保障
采取了水、氣過程狀態監控、門位置狀態監控與互鎖、氮氣加熱溫度實時監控、緊急停止開關等相關措施;

采用微處理器檢測實時工作狀態。具有關門故障報警、超溫報警、驅動電機過載報警、低油位報警、制動故障報警、多種傳感器故障報警等;

具有整機漏電保護裝置和接地端子。

型號

AQS-4

AQS-6

AQS-8

工作腔數量

4工位

6工位

8工位

硅片規格

103mm125mm150mm

旋轉速度

50-900r/min無級可調

氮氣壓力

03Mpa

去離子水壓

03Mpa

電阻率監控

可選

氮氣密封

/氮氣烘干

氮氣加熱方式

油加熱/電加熱

加熱溫度

室溫+20-120℃(P.I.D控制)

輔助加熱系統

腔體表面處理

亞光電化學

控制系統

PLC可編程控制器(帶溫度模塊)

控制顯示器

57英寸人機交互彩色液晶觸摸屏

輸入電源總功率

4kw

5kw

6.5kw

外型尺寸(長×寬×高)

1200×1000×1000

1300×1100×1000

1400×1200×1000

輸入電源

AC380V(三相四線制)

 

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